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盡管油封式旋片真空泵可用于干燥工藝，但是，由于其泵油容易受到工藝過程中可凝性蒸汽及溶劑的污染，因此泵需要頻繁換油及保養，導致總使用成本較高，而干式真空泵可避免這些狀況的發生。Leybold干式真空泵具有出色的性能，最長達5年的連續運轉免維護周期，并能夠處理大流量液體和蒸汽，而且完全兼容各種電極干燥箱的設計和構造。