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對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的，對(duì)極限真空度要求較高（達(dá)1X10-3Pa～1X10-2Pa壓力）一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵?！　±缬幸幌到y(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長(zhǎng)期工作，問(wèn)應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。（2）抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵，標(biāo)記為：ZJP-3002.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表...

為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間?！　　　　　榱双@得在低入口壓力（1~100pa）時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。由于羅茨真空泵在技術(shù)上是干式泵，所以建議在其附帶的液...

這就是羅茨真空泵的分子作用原理。這就是羅茨真空泵的分子作用原理。這就是羅茨真空泵的分子作用原理。

JZJLS型氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵水環(huán)泵機(jī)組是以ZJL型氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵為主泵或中間泵，以2SK型雙級(jí)水環(huán)式真空泵為前級(jí)泵，通過(guò)真空繼電器、水壓繼電器來(lái)實(shí)現(xiàn)各級(jí)羅茨泵和水環(huán)泵的自動(dòng)關(guān)閉及自動(dòng)過(guò)載安全保護(hù)的真空獲得設(shè)備它除了具有一般羅茨真空泵水環(huán)泵機(jī)組的某些特點(diǎn)外，由于采用氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵作為主泵或中間泵，因而能在高壓縮比，高壓差下正常工作，這樣就大大縮短了對(duì)系統(tǒng)的預(yù)抽時(shí)間，獲得較低的預(yù)...

另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min?！　∫话銓?duì)干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價(jià)低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動(dòng)小，噪聲低。只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值。

干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：①容積式干式真空泵，例如：多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等，這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash，10Pa，抽速為0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干...