在該過程中，使用側流式風機將工件吹干。氣流的容積流量和壓力對干燥度至關重要。氣流溫度也會影響 干燥處理的效果。

真空脫油

真空干燥

使用真空干燥，像看不見的鏜孔、很窄的潤滑通道甚至內部通路等很難清洗到的位置，都可以完全干燥，在空隙或不平的表面也不會留下任何殘留水。在該過程中，洗濯室中會形成真空。當壓力下降到低于要排除的液體的蒸氣壓力時，液體會蒸發，從而使部件變干。蒸發掉的大部分蒸氣進入真空泵上游的冷凝物分離器。空氣中殘留的水汽由真空泵去除。根據部件臟污程度，使用水或溶劑基洗滌劑。在有些情況下，對于可能具有爆炸性的溶劑基洗滌劑，需要使用經 ATEX 認證的真空泵。