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真空脫水哪家好 XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。
2BV2真空泵價格對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復雜而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,2)半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,4)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。近年來,干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。
真空過濾哪家好當代真空技術在半導體工業(yè)、電子工業(yè)、薄膜制備等工藝過程中的應用,迫切要求無油蒸氣污染的清潔真空此外在這些制造工藝中,被抽氣體往往有腐蝕性蒸氣或固體顆粒,嚴重影響油封泵的使用壽命。因此,近年來世界各國相繼研制出工作在10^5Pamdash,0.1Pa區(qū)域內(nèi)的干式真空泵,以滿足對無油排氣工藝的要求。 干式真空泵至今沒有明確定義,就代替油封式機械泵而言,一般通用的說法是:能在10^5Pa(1大氣壓)mdash,10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作;在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體,排氣口與大氣相通,能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵,又稱無油真空泵。 干式真空泵種類很多,按工作原理可分為兩類:①容積式干式真空泵,例如:多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等,這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash,10Pa,抽速為0.01msup3,/smdash,0.04msup3,/s。②動量傳遞式干式真空泵,例如:渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接,在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高。可從10^5Pa(1大氣壓)抽到10^-2Pa在結(jié)構上采用徑向流和軸向流復合式結(jié)構,多級串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa,抽速為0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牽引型干泵也屬于動量傳輸式干式泵。 這些干式泵和油封式機械泵相比,在各自的極限壓力條件下,其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明,油封泵的殘余氣體,主要成分為CnHm(碳氫化合物),而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣,這就證實了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染。
廈門佶締納士真空泵價格 由于干式旋片泵在無油狀態(tài)下工作,所以旋片材料需具備自潤滑功能目前,國內(nèi)外一般采用碳素材料;同時也因其無油,為減少氣體的泄漏,該泵采用多個旋片結(jié)構。。
因此,泵工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點而日前,一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子,不僅節(jié)能30%,還具有設備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點,可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領域替代進口產(chǎn)品。 。