另外,干式真空泵的轉速越高,其壓縮比越大,因此非接觸型干式真空泵的轉速多為3000r/min
另外,干式真空泵的轉速越高,其壓縮比越大,因此非接觸型干式真空泵的轉速多為3000r/min。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空...