半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX

渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應用于需要清潔的高真空或超高真空的應用中，例如，在研究、開發(fā)或工業(yè)領域，如半導體工業(yè)、分析儀器或涂層技術。 

工作原理 

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉(zhuǎn)子級配備有多個轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動量傳遞，它們最初的無方向熱運動轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋眠M口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運動。在分子流量范圍內(nèi)（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應地，分子主要與光學稠密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流范圍內(nèi)（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉(zhuǎn)子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。

轉(zhuǎn)子軸承 

萊寶提供不同的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)。純經(jīng)典機械式轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC）或磁性轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側(cè)的軸承是一個終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側(cè)的軸承通過非磨損磁性軸承實現(xiàn)。所有這些類型軸承的典型特點是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會擴散回真空室。

 驅(qū)動電子/控制單元

 驅(qū)動和監(jiān)測渦輪分子泵需要一個電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機提供驅(qū)動電壓和輸出頻率，并自動監(jiān)控系統(tǒng)。泵轉(zhuǎn)子的最佳啟動是通過穩(wěn)定地增加電壓和頻率來實現(xiàn)的。達到額定速度后，啟動電流以受控方式降低至正常運行所需的水平。

TURBOVAC的變頻器和電機設計為即使在高進氣壓力下，轉(zhuǎn)速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內(nèi)，氣體的最高吞吐量。

根據(jù)給定的系統(tǒng)和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進行補充，以方便在現(xiàn)有裝置中集成。

 前真空泵

由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進行壓縮，因此其操作始終需要一個額定值足夠的前真空泵。對于帶轉(zhuǎn)子葉片的經(jīng)典轉(zhuǎn)子布置，通常采用兩級旋轉(zhuǎn)葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級旋轉(zhuǎn)葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉(zhuǎn)子配有附加壓縮級（復合級），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。

 特征量

 泵送速度（體積流量）

 泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對空氣和氮氣分別規(guī)定標稱泵送速度，即泵的最大可達到泵送速度。在高真空工程領域，通常以測量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數(shù)。

 天然氣吞吐量

 氣體流量“Q”，計量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。

 壓縮

 壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側(cè)的壓力與高真空側(cè)的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。

 極限壓力（基礎壓力）

 可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測量裝置24小時烘烤（脫氣）后48小時在試驗室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。

 可達到的最大極限p